Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜
来源期刊：材料科学与工艺2002年第1期
论文作者：宋世庚 马远新 郑应智 侯识华 郑毓峰
关键词：Sol-Gel法; PLZT; 铁电薄膜;
摘 要：介绍了Sol-Gel法,并对近年来Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜材料的有关研究进行了分析和总结,详细介绍了Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜材料的各种原料及工艺流程.
宋世庚1，马远新2，郑应智1，侯识华1，郑毓峰3
(1.中国科学院,新疆物理研究所,新疆维吾尔自治区,乌鲁木齐,830011;
2.新疆医科大学基础部,新疆维吾尔自治区,乌鲁木齐,830054;
3.新疆大学物理系,新疆维吾尔自治区,乌鲁木齐,830046)
摘要:介绍了Sol-Gel法,并对近年来Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜材料的有关研究进行了分析和总结,详细介绍了Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜材料的各种原料及工艺流程.
关键词:Sol-Gel法; PLZT; 铁电薄膜;
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