CrTiAlN薄膜的微观结构及其高温摩擦磨损性能

来源期刊：材料科学与工程学报2016年第5期

论文作者：王宇星 陈凯南 周艳 楼白杨

文章页码：716 - 720

关键词：CrTiAlN多层薄膜;CFUMSIP;高温摩擦磨损性能;M2高速钢;

摘    要：采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术,在M2高速钢表面制备CrTiAlN多层薄膜。利用XRD、SEM、EDS和球-盘式摩擦磨损试验机研究薄膜微观结构和高温摩擦磨损性能。结果表明:CrTiAlN薄膜均匀致密,呈FCC结构。高温摩擦磨损试验表明:从室温到600℃,随着温度升高,薄膜摩擦系数先增大后减小,磨损量和磨损率随着温度升高而增加,CrTiAlN薄膜在600℃环境下的磨损形式主要是氧化磨损和磨粒磨损。