Si过渡层对梯度影响类金刚石薄膜结合力的影响研究
来源期刊：功能材料2005年第10期
论文作者：齐民 杨大智 胡德平 徐军 刘成龙 李国卿
关键词：NiTi合金; 类金刚石薄膜; 过渡层; 结合强度; 划痕法;
摘 要：实验利用双放电腔微波-ECR等离子体源设备,采用复合PVD(physical vapor deposition)和PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)的方法, 先后在NiTi基体上沉积Si和Si/α-C∶H过渡层,然后制备类金刚石薄膜.Raman光谱和透射电镜表明制备的梯度薄膜是典型的类金刚石薄膜,划痕的测试结果表明, Si过渡层沉积时间影响着梯度类金刚石薄膜与NiTi合金基体之间的结合强度,当沉积时间在60min左右时可获得具有最好结合强度的梯度薄膜,而超过或低于这个时间值会导致膜基结合强度降低.
齐民1，杨大智1，胡德平1，徐军1，刘成龙1，李国卿1
(1.大连理工大学,三束材料表面改性国家重点联合实验室,辽宁,大连,116024;
2.大连理工大学,材料系,辽宁,大连,116024)
摘要:实验利用双放电腔微波-ECR等离子体源设备,采用复合PVD(physical vapor deposition)和PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)的方法, 先后在NiTi基体上沉积Si和Si/α-C∶H过渡层,然后制备类金刚石薄膜.Raman光谱和透射电镜表明制备的梯度薄膜是典型的类金刚石薄膜,划痕的测试结果表明, Si过渡层沉积时间影响着梯度类金刚石薄膜与NiTi合金基体之间的结合强度,当沉积时间在60min左右时可获得具有最好结合强度的梯度薄膜,而超过或低于这个时间值会导致膜基结合强度降低.
关键词:NiTi合金; 类金刚石薄膜; 过渡层; 结合强度; 划痕法;
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