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类金刚石梯度膜的微观力学性能研究

来源期刊：理化检验物理分册2002年第4期

论文作者：蔡珣李刚马峰马洪涛

关键词：类金刚石膜; 原子力显微镜; 纳米压入技术;

摘要：采用非平衡磁控溅射及等离子体源离子混合注入方法在奥氏体不锈钢1Cr18Ni9Ti基体上制备N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度涂层.采用原子力显微镜等手段观察分析梯度膜的显微组织与相组成,同时采用纳米压入技术评定膜层的力学性能.实验结果表明,采用此方法制备的金刚石膜组织致密,性能良好.

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蔡珣¹，李刚¹，马峰¹，马洪涛²

(1.上海交通大学教育部高温材料与高温测试重点实验室,上海,200030;
2.清华大学摩擦学国家重点实验室,北京,100084)

摘要:采用非平衡磁控溅射及等离子体源离子混合注入方法在奥氏体不锈钢1Cr18Ni9Ti基体上制备N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度涂层.采用原子力显微镜等手段观察分析梯度膜的显微组织与相组成,同时采用纳米压入技术评定膜层的力学性能.实验结果表明,采用此方法制备的金刚石膜组织致密,性能良好.

关键词:类金刚石膜; 原子力显微镜; 纳米压入技术;

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