简介概要

SILAR法制备无机化合物薄膜

来源期刊：材料导报2003年第3期

论文作者：步绍静靳正国程志捷刘晓新

关键词：SILAR法; 无机化合物; 薄膜制备;

摘要：介绍了一种新的液相法薄膜制备工艺-SILAR法(连续离子层吸附反应法),该方法设备简单,成本低廉,成膜质量好.解释了它的非均相薄膜生长机理,对它的工艺参数影响以及研究应用情况进行了综合评述.指出了研究发展前景.

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步绍静¹，靳正国¹，程志捷¹，刘晓新¹

(1.先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津大学材料学院,天津,300072)

摘要:介绍了一种新的液相法薄膜制备工艺-SILAR法(连续离子层吸附反应法),该方法设备简单,成本低廉,成膜质量好.解释了它的非均相薄膜生长机理,对它的工艺参数影响以及研究应用情况进行了综合评述.指出了研究发展前景.

关键词:SILAR法; 无机化合物; 薄膜制备;

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