水解沉积--阳极氧化法形成Al-Ti复合氧化膜
来源期刊：功能材料2005年第3期
论文作者：陈金菊 顾德恩 杨邦朝 冯哲圣
关键词：铝电极箔; 水解沉积; 阳极氧化; Al-Ti复合氧化膜; TiO2;
摘 要：通过含钛无机盐的水解沉积及高温热处理,铝电极箔表面形成高介电常数氧化物--TiO2膜层,然后在己二酸铵溶液中恒电流阳极氧化,形成Al-Ti复合氧化膜.AFM观测了含钛无机盐水解沉积过程中,铝电极箔表面形貌的变化.在铬酸和磷酸的混合溶液中测试了氧化膜的耐电压随溶解时间的变化.通过SIMS检测了复合氧化膜中Al3+、Ti4+的强度随溅射时间的变化.膜溶解试验及SIMS检测结果表明Al-Ti复合氧化膜由3层组成,外层和中间层为Al、Ti、O不同配比的混合物,内层则为纯的A12O3.铝电极箔比容随氧化膜耐电压的变化关系曲线表明,60V耐电压下,Al-Ti复合氧化膜的比容提高率为51%.
陈金菊1，顾德恩1，杨邦朝1，冯哲圣1
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)
摘要:通过含钛无机盐的水解沉积及高温热处理,铝电极箔表面形成高介电常数氧化物--TiO2膜层,然后在己二酸铵溶液中恒电流阳极氧化,形成Al-Ti复合氧化膜.AFM观测了含钛无机盐水解沉积过程中,铝电极箔表面形貌的变化.在铬酸和磷酸的混合溶液中测试了氧化膜的耐电压随溶解时间的变化.通过SIMS检测了复合氧化膜中Al3+、Ti4+的强度随溅射时间的变化.膜溶解试验及SIMS检测结果表明Al-Ti复合氧化膜由3层组成,外层和中间层为Al、Ti、O不同配比的混合物,内层则为纯的A12O3.铝电极箔比容随氧化膜耐电压的变化关系曲线表明,60V耐电压下,Al-Ti复合氧化膜的比容提高率为51%.
关键词:铝电极箔; 水解沉积; 阳极氧化; Al-Ti复合氧化膜; TiO2;
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