类金刚石膜研究进展
来源期刊：材料工程2017年第3期
论文作者：陈青云 施凯敏 苏敏华 吕会议 罗瑜 曾陈
文章页码：119 - 128
关键词：类金刚石膜;成膜机理;结合力;摩擦性能;
摘 要：类金刚石膜具有高硬度、高热导率、低摩擦因数、良好的耐磨性能和化学惰性等优异的物化性能,在热沉、微电子、抗核加固、生物和汽车工业等领域具有重大的应用前景,近年来吸引了众多研究和关注。文章综述了类金刚石膜的研究进展和膜的成核机理,展示了类金刚石的应用前景,为该材料的研究和工业化应用提供思路和参考。
陈青云1,2，施凯敏2，苏敏华2，吕会议1，罗瑜1，曾陈1
1. 西南科技大学核废物与环境安全国防重点学科实验室2. 香港大学工学院土木工程系
摘 要：类金刚石膜具有高硬度、高热导率、低摩擦因数、良好的耐磨性能和化学惰性等优异的物化性能,在热沉、微电子、抗核加固、生物和汽车工业等领域具有重大的应用前景,近年来吸引了众多研究和关注。文章综述了类金刚石膜的研究进展和膜的成核机理,展示了类金刚石的应用前景,为该材料的研究和工业化应用提供思路和参考。
关键词：类金刚石膜;成膜机理;结合力;摩擦性能;
