多热源合成碳化硅温度场的均匀性研究
来源期刊：矿冶工程2013年第6期
论文作者：王晓刚 陈杰
文章页码：97 - 100
关键词：碳化硅;多热源;温度场;均匀性;温度梯度;
摘 要：通过对碳化硅冶炼炉内温度场的数值模拟,研究了单热源炉与多热源炉温度梯度的分布与演变规律,并采用X衍射对多热源与单热源合成炉中不同部位的合成产品的物相进行了对比分析。研究表明,多热源合成炉内温度场均匀性更好;适合碳化硅生长的高温区域,多热源法要大于Acheson单热源法;多热源合成炉内无高温聚集区,生产更平稳、更安全。
王晓刚，陈杰
西安科技大学材料科学与工程学院
摘 要：通过对碳化硅冶炼炉内温度场的数值模拟,研究了单热源炉与多热源炉温度梯度的分布与演变规律,并采用X衍射对多热源与单热源合成炉中不同部位的合成产品的物相进行了对比分析。研究表明,多热源合成炉内温度场均匀性更好;适合碳化硅生长的高温区域,多热源法要大于Acheson单热源法;多热源合成炉内无高温聚集区,生产更平稳、更安全。
关键词：碳化硅;多热源;温度场;均匀性;温度梯度;
