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AlN薄膜体声波谐振器研究

来源期刊：功能材料与器件学报2006年第5期

论文作者：顾豪爽胡明哲张凯李位勇胡光

关键词：体声波谐振器; Mason模型; 压电薄膜; 频率特性;

摘要：采用一维Mason模型,研究了体声波谐振器的频率特性,探讨了压电薄膜AlN和上电极膜厚对谐振频率的影响,压电参数d33及压电薄膜与电极的厚度比率对机电耦合系数的影响,同时研究了谐振区域的面积和声能在衬底中的损耗对品质因数的影响.测量的体声波谐振器频率特性曲线与模拟结果吻合的较好.

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顾豪爽¹，胡明哲¹，张凯¹，李位勇¹，胡光¹

(1.湖北大学,物理学与电子技术学院,武汉,430062)

摘要:采用一维Mason模型,研究了体声波谐振器的频率特性,探讨了压电薄膜AlN和上电极膜厚对谐振频率的影响,压电参数d33及压电薄膜与电极的厚度比率对机电耦合系数的影响,同时研究了谐振区域的面积和声能在衬底中的损耗对品质因数的影响.测量的体声波谐振器频率特性曲线与模拟结果吻合的较好.

关键词:体声波谐振器; Mason模型; 压电薄膜; 频率特性;

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