热处理对钛酸锶钡薄膜光学性能的影响

来源期刊：材料导报2015年第18期

论文作者：赵丽丽 翟春雪 朱红丹 廖付友 刘艳秋

文章页码：24 - 27

关键词：钛酸锶钡;薄膜;预处理;退火;光学性能;

摘    要：采用无水溶胶-凝胶技术制备了钛酸锶钡光学薄膜,研究了预处理温度对钛酸锶钡薄膜表面形貌的影响,系统分析了退火温度对钛酸锶钡薄膜的相结构、微观形貌和光学性能的影响。结果表明,膜的物相、结构和形貌均对其光学性能起决定作用,制备致密、均匀的晶态薄膜是使钛酸锶钡薄膜具有高的光学透过率、大的折射率和小的消光系数的关键。通过150℃预处理和850℃退火获得了晶化程度良好,表面形貌平整、致密的钛酸锶钡薄膜,该膜在350¹000nm的最大光透过率为80.72%,在600¹000nm的折射率稳定在约1.93,在400¹000nm范围消光系数稳定在约4×10-5。