烷类特种气体分析装置的研制及其应用

来源期刊：分析试验室1997年第1期

论文作者：蒋文全 崔熙钟 林佳 任晓华

关键词：烷类特种气体;多维气相色谱;非晶硅太阳能电池;永久性气体;

摘    要：研制烷类特种气体分析专用的多维气相色谱仪，特制的热导检测器，具有手动－自动功能。设计了输气－配气装置和多维气相色谱流程。以微机控制，可按编辑程序清洗系统，检查本底，自动进样，显示或打印谱图和分析结果。可检测多种烷类特种气体组份及其中氧、氮、一氧化碳和甲烷等痕量杂质。烷类特种气体组分的检测范围：ＳｉＨ４、ＣＨ４为０％～２０％Ｂ２Ｈ６、ＰＨ３为０％～２％，最小检测浓度分别为（×１０－４％（Ｖ／Ｖ））：Ｏ２１．０，Ｎ２１．５，Ｂ２Ｈ６５０，ＰＨ３５，ＳｉＨ４５，ＣＨ４１．５。该仪器可作为在线分析仪。已在非晶硅太阳能电池试线中使用多年。