溶胶-凝胶法制备三元金属氮化物薄膜及其最新研究进展

马勤¹，完彦少君^1,2，朱雪斌²，火照燕¹，韩莉¹

1. 兰州理工大学材料科学与工程学院省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室2. 中国科学院固体物理研究所

摘 要：三元金属氮化物薄膜是一类在电子、铁磁等领域具有广阔应用前景的新材料,主要有立方金属（反）钙钛矿和立方η碳化物（η-carbide）两种结构类型,由于其卓越的性能如高硬度、超导性、催化性以及各种不同的磁学性能而引起人们广泛的研究。本文主要介绍了三元氮化物结构特性以及溶胶-凝胶法（Sol-gel）在这些氮化物制备方面的应用,阐述并分析了溶胶-凝胶法的优缺点;简述了溶胶-凝胶法制备其他三元金属氮化物薄膜（如铁磁薄膜）的应用;最后指出了溶胶-凝胶法目前存在的一些问题。

关键词：溶胶-凝胶法;三元金属氮化物;薄膜;