Al_0.7Sb₂Te₃三元靶材的结构性能表征

来源期刊：稀有金属材料与工程2019年第7期

论文作者：孙川希 周增林 谢元锋 夏扬

文章页码：2203 - 2207

关键词：Al_0.7Sb₂Te₃;XPS;化学价态;有效化合;

摘    要：以原子比Al:Sb:Te=0.7:2:3的混和粉为原料,采用真空合成法与烧结-热等静压制备Al_0.7Sb₂Te₃三元靶材,通过XRD、FESEM、EDS、XPS等手段表征其性能,且重点采用XPS研究Al在Al_0.7Sb₂Te₃三元靶材的存在状态。结果表明:Al掺杂后,靶材主相Sb₂Te₃的晶格常数变化,且单质Al弥散相与Al_0.1Sb₂Te₃基体相共存,表明掺杂对靶材的组织结构确有影响;刻蚀深度从0 nm增加至405.9 nm,Al价态从以Al₂O₃的化合态为主逐渐过渡至以单质态为主,且Al以Al₂O₃形态为主的区域深度约90 nm;刻蚀深度为405.9 nm的XPS分析表明,Al_0.1Sb₂Te₃中的Al通过有效化合形成AlSb影响着靶材的组织结构。