薄膜材料结构信息测试方法比较
来源期刊：中国有色金属学报1998年第z2期
论文作者：刘震云 王永瑞 黄伯云 曲选辉
文章页码：84 - 87
关键词：薄膜材料； 约化密度函数； 径向分布函数； 测试方法
摘 要：对薄膜材料结构测量的几种常规方法即：X射线衍射法、中子衍射法、能量过滤电子衍射分析法、计算机模拟法等在实验设备、样品的要求、数据的采集和处理、实验结果的准确性等方面做了比较，分析了各自的优缺点，为薄膜材料结构测量实验方法的选择提供参考。
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