深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格薄膜的结构和性能

来源期刊：稀有金属材料与工程2018年第S1期

论文作者：欧伊翔 潘伟 雷明凯

文章页码：330 - 334

关键词：CrN/TiN超晶格薄膜;深振荡磁控溅射;脉冲直流磁控溅射;摩擦磨损;腐蚀;

摘    要：分别采用深振荡磁控溅射（deep oscillation magnetron sputtering,DOMS）复合脉冲直流磁控溅射（pulsed dc magnetron sputtering,PDCMS）技术和单一的PDCMS技术,沉积厚度为2μm、调制周期为6.3 nm的Cr N/Ti N超晶格薄膜。利用XRD、SEM和TEM表征薄膜的结构。利用纳米压痕仪、划痕仪和空气电阻炉分别测试薄膜的力学性能、结合力和热稳定性。利用球-盘式摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦学性能。利用阳极极化实验测试薄膜在3.5%（质量分数）Na Cl溶液中腐蚀性能。研究表明,与单一的PDCMS技术相比,DOMS+PDCMS复合技术显著改善了Cr N/Ti N超晶格薄膜结构,薄膜具有更优异的力学性能、持久的耐磨减摩性和抗腐蚀性能。