简介概要

磁控溅射技术新进展及应用

来源期刊：材料导报2004年第4期

论文作者：唐晓红张继成吴卫东许华

关键词：磁控溅射; 磁控溅射新技术; 薄膜制备;

摘要：主要简介了磁控溅射技术的基本原理、基本装置、近年来出现的新技术(多靶磁控溅射技术、磁场扫描法、非平衡磁控溅射、脉冲磁控溅射技术、磁控溅射技术与其它成膜技术相结合等),以及国内外利用磁控溅射技术在多层膜和化合物薄膜制备方面取得的一些成果.

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唐晓红¹，张继成¹，吴卫东¹，许华¹

(1.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳,621900)

摘要:主要简介了磁控溅射技术的基本原理、基本装置、近年来出现的新技术(多靶磁控溅射技术、磁场扫描法、非平衡磁控溅射、脉冲磁控溅射技术、磁控溅射技术与其它成膜技术相结合等),以及国内外利用磁控溅射技术在多层膜和化合物薄膜制备方面取得的一些成果.

关键词:磁控溅射; 磁控溅射新技术; 薄膜制备;

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