溶胶-凝胶法制备YBa2Cu3O7-x超导薄膜的研究
来源期刊：功能材料2006年第9期
论文作者：李颖 严复学 赵高扬 薛人中 陈源清
关键词：YBa2Cu3O7-x; TFA; 薄膜;
摘 要：传统的TFA-MOD法制备YBa2Cu3O7-x薄膜,采用Y、Ba、Cu 3种金属的三氟醋酸盐(TFA)为先驱体,在热分解时,会产生大量的HF气体,即使通过将近20h的缓慢升温过程来对薄膜进行热分解,也难以获得较为光洁的表面,从而无法实现厚膜的制备.本文提出了一种新的含氟溶胶-凝胶工艺,通过减少溶胶中F的含量,并利用二乙醇胺做修饰剂,缩短了热分解时间,提高了薄膜的表面光洁度.利用该方法在(010)LaAlO3衬底上制备了具有良好c轴取向,临界转变温度为89K的YBCO超导薄膜.
李颖1，严复学1，赵高扬2，薛人中2，陈源清2
(1.西安理工大学,材料现代分析测试中心,陕西,西安,710048;
2.西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048)
摘要:传统的TFA-MOD法制备YBa2Cu3O7-x薄膜,采用Y、Ba、Cu 3种金属的三氟醋酸盐(TFA)为先驱体,在热分解时,会产生大量的HF气体,即使通过将近20h的缓慢升温过程来对薄膜进行热分解,也难以获得较为光洁的表面,从而无法实现厚膜的制备.本文提出了一种新的含氟溶胶-凝胶工艺,通过减少溶胶中F的含量,并利用二乙醇胺做修饰剂,缩短了热分解时间,提高了薄膜的表面光洁度.利用该方法在(010)LaAlO3衬底上制备了具有良好c轴取向,临界转变温度为89K的YBCO超导薄膜.
关键词:YBa2Cu3O7-x; TFA; 薄膜;
【全文内容正在添加中】
