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超高硬度纳米复合薄膜Ti-Si-N结构的研究进展

来源期刊：材料导报2012年第S2期

论文作者：任元刘学杰谭心郭金鸽孙士阳

文章页码：94 - 97

关键词：Ti-Si-N薄膜;纳米复合结构;界面结构;

摘要：综述了Ti-Si-N超硬纳米复合薄膜结构形式的研究进展。介绍了研究者对Si原子在Ti-Si-N中形成的晶界是否为晶态的认识与研究,阐述了Si原子在Ti-Si-N中所形成的界面结构形式的研究现状以及Ti-Si-N薄膜沉积过程中的形成机制,并展望了Ti-Si-N超硬纳米复合薄膜今后的研究方向。

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任元，刘学杰，谭心，郭金鸽，孙士阳

内蒙古科技大学机械工程学院

关键词：Ti-Si-N薄膜;纳米复合结构;界面结构;