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扫描电镜系统辅助设备的故障分析及维护保养

来源期刊：理化检验物理分册2021年第2期

论文作者：孙秋香卢慧粉宋庆军宋鹏

关键词：扫描电镜;辅助设备;故障分析;维护保养;

摘要：介绍了扫描电镜系统的各辅助设备常见的故障及解决办法。检验管理人员做好各辅助设备的维护保养,了解各设备的故障点,能够快速、低成本地解决故障问题,有效保障测试工作的正常进行。

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孙秋香，卢慧粉，宋庆军，宋鹏

关键词：扫描电镜;辅助设备;故障分析;维护保养;