硫化镉陶瓷靶材的制备与性能表征

来源期刊：功能材料2015年第17期

论文作者：董雪振 吴任平

文章页码：17140 - 17143

关键词：CdS;陶瓷靶材;太阳能薄膜电池;

摘    要：以硫化镉(CdS)为主要原料,氯化镉(CdCl2)为助熔剂,采用干压成型、真空烧结的方式制备CdS陶瓷靶材。探讨了原料性质、烧结温度、CdCl2添加量对靶材相对密度、烧结线收缩率、显气孔率及表面电阻率的影响。用阿基米德法测定靶材密度、用四探针测试仪测试靶材表面电阻率、用XRD测试靶材晶相结构、用SEM观察靶材微观形貌。实验结果表明,靶材试样的晶相主要为六方相CdS,晶粒均匀(晶粒大小在3~8μm之间),密度达到4.55g/cm3,显气孔率4.59%,表面电阻率89.2Ω·cm,能满足磁控溅射镀膜工艺对靶材的指标要求。