硅基底TiO2纳米管阵列的制备
来源期刊：金属功能材料2012年第5期
论文作者：杨铭杰 刘伟 孙家林
文章页码：6 - 9
关键词：TiO2纳米管阵列;阳极氧化法;硅基底;磁控溅射;
摘 要：本文采用磁控溅射方法在硅基底上沉积一层金属钛膜,用于取代传统阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列所用的金属钛片。分别在乙二醇和丙三醇两种电解液中进行阳极氧化,均在硅基底上形成了高度有序的TiO2纳米管阵列。该方法与硅工艺集成技术兼容,有利于基于TiO2纳米管阵列的微纳米器件的设计和制造。
杨铭杰1,2，刘伟1，孙家林2
1. 清华大学材料科学与工程系2. 清华大学物理系
摘 要：本文采用磁控溅射方法在硅基底上沉积一层金属钛膜,用于取代传统阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列所用的金属钛片。分别在乙二醇和丙三醇两种电解液中进行阳极氧化,均在硅基底上形成了高度有序的TiO2纳米管阵列。该方法与硅工艺集成技术兼容,有利于基于TiO2纳米管阵列的微纳米器件的设计和制造。
关键词：TiO2纳米管阵列;阳极氧化法;硅基底;磁控溅射;
