钛合金表面磁控溅射TiB₂-TiN复合薄膜的摩擦磨损性能

来源期刊：功能材料2010年第S3期

论文作者：陈丹 许晓静 田琨 辛喜玲 于春杭 盛新兰

文章页码：480 - 968

关键词：钛合金;TiB2-TiN复合薄膜;摩擦磨损性能;中间层;磁控溅射;

摘    要：采用室温磁控溅射技术在钛合金（Ti6Al4V）表面制备SiC/TiB2-TiN双层薄膜,SiC为中间层,研究了TiB2-TiN复合薄膜的组织结构和摩擦磨损性能。结果表明,TiB2-TiN复合薄膜具有纳米尺度颗粒（畴）的微结构特征,SiC薄膜与基材和TiB2-TiN复合薄膜间都具有明显且呈梯度的元素扩散;在载荷200g、室温Kokubo人体模拟体液条件下,与氮化硅（Si3N4）球（直径4mm）对摩,其平均摩擦系数约为0.22,磨损速率在10-6 mm3/（m.N）级;并且TiB2-TiN复合薄膜对Kokubo人体模拟体液中的Ca、P元素具有很强的黏附能力。