溶胶-凝胶法制备不同膜系结构的宽带减反膜（英文）

来源期刊：稀有金属材料与工程2012年第S3期

论文作者：李晓光 王晓栋 沈军

文章页码：296 - 299

关键词：溶胶-凝胶;宽带减反膜;太阳能电池;强激光系统;

摘    要：利用酸催化的二氧化钛溶胶、酸催化的二氧化硅溶胶以及碱催化的二氧化硅溶胶,基于λ/4-λ/2和λ/4-λ/4膜系结构制备了TiO₂/SiO₂和SiO₂/SiO₂两种双层宽带减反膜。TiO₂/SiO₂减反膜具有M型透射光谱,在400⁸00 nm波段内实现了良好的宽带增透效果,适用于太阳能电池板表面玻璃的减反射需求:此增透膜还具备优异的耐刮擦性和光学稳定性,基本满足户外使用的要求。TiO₂/SiO₂减反膜具有平滑的透射光谱,相500⁸50 nm波段具有超过99.5%的平均透过率:经氨气氛热处理及三甲基氯硅烷化学修饰后,此增透膜具有良好的疏水性和耐刮擦性,基本满足强激光系统中氙灯挡板玻璃的使用需求。