简介概要

磁控溅射工艺参数对不锈钢薄膜结合性能的影响

来源期刊：材料保护2004年第11期

论文作者：傅明喜陆琼晔黄兴民周志华

关键词：磁控溅射; 不锈钢薄膜; 工艺参数; 结合力;

摘要：采用直流磁控溅射法在钢片上制备不锈钢薄膜,通过改变溅射功率、溅射时间、真空度、氩气压强、基片与靶材间距等,研究其对薄膜结合力的影响.为获得致密度高、结合力好的不锈钢薄膜提供了可行的工艺参数范围.

详情信息展示

傅明喜¹，陆琼晔¹，黄兴民¹，周志华¹

(1.江苏大学材料科学与工程学院,江苏,镇江,212013)

摘要:采用直流磁控溅射法在钢片上制备不锈钢薄膜,通过改变溅射功率、溅射时间、真空度、氩气压强、基片与靶材间距等,研究其对薄膜结合力的影响.为获得致密度高、结合力好的不锈钢薄膜提供了可行的工艺参数范围.

关键词:磁控溅射; 不锈钢薄膜; 工艺参数; 结合力;

【全文内容正在添加中】