CIGS太阳能电池用CBD-CdS/Zn（S,O）复合缓冲层的研究

来源期刊：稀有金属2018年第11期

论文作者：屈飞 李辉 古宏伟 张贺

文章页码：1172 - 1177

关键词：CdS;Zn(S,O);缓冲层;太阳能电池;

摘    要：制备了CdS/Zn（S,O）复合缓冲层,通过Zn（S,O）改善窗口层光透过率,同时通过CBD-CdS与CuInxGa1-xSe2（CIGS）吸收层保留良好的结性能。CdS采用化学溶沉积（CBD）工艺制备,Zn（S,O）采用氧气氛磁控溅射工艺制备。研究了溅射气氛中氧分压、CBD-CdS厚度以及Zn（S,O）薄膜沉积的衬底温度对复合缓冲层透过率的影响。透过率测试表明氧掺杂可以改善ZnS薄膜的透过率,制备的Zn（S,O）薄膜在300～1500 nm波段范围的平均透过率可高达95%,与玻璃衬底相比,在CBD-CdS沉积2 min的衬底上制备的CBD-CdS/Zn（S,O）复合缓冲层在300～600 nm波段的透过率明显升高,这一波段与太阳光谱的最大能量区间吻合,有利于改善太阳能电池的短波响应特性。