热致变色VO2薄膜的制备及光学性能研究
来源期刊：功能材料2013年第18期
论文作者：赵晓玲 王孝 曹韫真 闫璐 章俞之
文章页码：2727 - 2730
关键词：VO2薄膜;PEM;光学性能;
摘 要：利用等离子体发射光谱监测系统（PEM）控制钒的等离子强度,在石英基底上磁控溅射制备了VO2薄膜。采用XRD、XPS、SEM、紫外-可见-近红外分光光度计及傅立叶红外分光光度计研究薄膜的结构、光学及相变特性。结果表明,所制备的VO2薄膜具有（011）取向,VO2薄膜的热滞回线宽度为25℃,可见光透过率和太阳光调节率分别可达Tlum,l=34.1%、Tlum,h=35.3%和ΔTsol=6.8%,相变前后,红外光区的反射率变化最大值可达44.4%。
赵晓玲，王孝，曹韫真，闫璐，章俞之
中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机涂层重点实验室
摘 要：利用等离子体发射光谱监测系统（PEM）控制钒的等离子强度,在石英基底上磁控溅射制备了VO2薄膜。采用XRD、XPS、SEM、紫外-可见-近红外分光光度计及傅立叶红外分光光度计研究薄膜的结构、光学及相变特性。结果表明,所制备的VO2薄膜具有（011）取向,VO2薄膜的热滞回线宽度为25℃,可见光透过率和太阳光调节率分别可达Tlum,l=34.1%、Tlum,h=35.3%和ΔTsol=6.8%,相变前后,红外光区的反射率变化最大值可达44.4%。
关键词：VO2薄膜;PEM;光学性能;
