提高氯硅烷精馏提纯效果的措施

来源期刊：中国有色冶金1985年第2期

论文作者：莫运筹

文章页码：34 - 37

摘    要：<正> 多晶硅大规模生产的工业化水平,主要体现在能稳定地、大批量地生产合乎预定质量指标的多晶硅。多晶硅质量的稳定又表现在要求达到的质量水平有好的延续性、重复性。工厂一般以合格率和一级品率为衡量指标。众所周知,合格率和一级品率都是以多晶硅的基磷、基硼及氧、碳含量、寿命值为衡量标准的。主要靠下列手段来达到这些参考要求:(1) 提高氯硅烷精馏产品的质量;(2) 提高高纯氢气的净化效果;(3) 控制稳定的适宜的多晶硅工艺生长条件;(4) 减小工艺过程的沾污。本文仅