工艺气体比例对微波MOCVD沉积氧化铝膜性能影响
来源期刊：功能材料2016年第5期
论文作者：张健 巴德纯 赵崇凌 杜广煜 刘坤
文章页码：5227 - 5230
关键词：线性微波源;氧化铝薄膜;工艺气体比例;折射率;沉积速度;
摘 要：AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统（LMW-MOCVD）在单晶硅基体上用不同N2O和TMA特气比例制备氧化铝膜层样品,并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、折射率测试分析。实验结果表明,随着N2O比例增大,薄膜中O/Al原子比例有上升趋势;膜层沉积速度显著降低;膜层折射率开始趋于稳定而后迅速降低。所以,工艺气体比例对LMW-MOCVD沉积氧化铝膜的性能有明显影响。
张健，巴德纯，赵崇凌，杜广煜，刘坤
东北大学机械及自动化学院
摘 要：AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统（LMW-MOCVD）在单晶硅基体上用不同N2O和TMA特气比例制备氧化铝膜层样品,并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、折射率测试分析。实验结果表明,随着N2O比例增大,薄膜中O/Al原子比例有上升趋势;膜层沉积速度显著降低;膜层折射率开始趋于稳定而后迅速降低。所以,工艺气体比例对LMW-MOCVD沉积氧化铝膜的性能有明显影响。
关键词：线性微波源;氧化铝薄膜;工艺气体比例;折射率;沉积速度;
