溶胶-凝胶提拉法制备ZnO薄膜及其性能研究
来源期刊：材料科学与工程学报2004年第1期
论文作者：向因 宋永梁 叶志镇 王泉香 季振国
关键词：ZnO薄膜; 光致发光; 溶胶-凝胶法; 提拉法;
摘 要：采用溶胶-凝胶提拉法在石英玻璃衬底上生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴择优取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.28eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30eV基本相同.用荧光光谱分析了经过400～600℃热处理获得的ZnO薄膜,结果表明ZnO薄膜在室温下可获得较强的紫外带边发射.适当选择热处理温度可以获得无可见波段发射的ZnO薄膜.
向因1，宋永梁1，叶志镇1，王泉香1，季振国1
(1.浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027)
摘要:采用溶胶-凝胶提拉法在石英玻璃衬底上生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴择优取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.28eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30eV基本相同.用荧光光谱分析了经过400～600℃热处理获得的ZnO薄膜,结果表明ZnO薄膜在室温下可获得较强的紫外带边发射.适当选择热处理温度可以获得无可见波段发射的ZnO薄膜.
关键词:ZnO薄膜; 光致发光; 溶胶-凝胶法; 提拉法;
【全文内容正在添加中】
