金刚石线锯切割多晶硅片表面制绒工艺研究
来源期刊：无机材料学报2017年第9期
论文作者：武晓玮 李佳艳 谭毅
文章页码：985 - 990
关键词：金刚石线锯;多晶硅;制绒;反射率;
摘 要：晶体硅片的制绒技术是太阳能电池制造工艺中的关键步骤。本研究以工业中酸制绒方法为基础,研究了腐蚀时间、浓度对绒面结构以及反射率的影响。此外,还采用金属催化化学腐蚀法进行制绒,选用氢氟酸和硝酸银作为腐蚀液。而且对两种制绒方法效果进行了对比。研究获得的最优绒面结构及反射率结果的实验条件为:氢氟酸浓度4.6 mol/L、硝酸银浓度0.02 mol/L,室温下反应90 min,得到的平均反射率为8%,远低于目前多晶硅片制绒生产标准。
武晓玮1,2，李佳艳1,2，谭毅1,2
1. 大连理工大学材料科学与工程学院2. 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室
摘 要：晶体硅片的制绒技术是太阳能电池制造工艺中的关键步骤。本研究以工业中酸制绒方法为基础,研究了腐蚀时间、浓度对绒面结构以及反射率的影响。此外,还采用金属催化化学腐蚀法进行制绒,选用氢氟酸和硝酸银作为腐蚀液。而且对两种制绒方法效果进行了对比。研究获得的最优绒面结构及反射率结果的实验条件为:氢氟酸浓度4.6 mol/L、硝酸银浓度0.02 mol/L,室温下反应90 min,得到的平均反射率为8%,远低于目前多晶硅片制绒生产标准。
关键词：金刚石线锯;多晶硅;制绒;反射率;
