雾化辅助常压化学气相沉积氧化钌薄膜结构及性能研究

来源期刊：材料导报2012年第S1期

论文作者：邓亚锋 赵仁仲 崔艳华 刘效疆

文章页码：47 - 49

关键词：RuO2薄膜;雾化辅助化学气相沉积;充放电性能;

摘    要：以水合氯化钌和乙醇钠为原料,首先制备了乙醇钌的乙醇溶液。通过对乙醇钌的乙醇溶液进行雾化,以2∶1的氮氧比为载气,在400℃常压条件下沉积了RuO2薄膜。采用XRD和AFM分别表征了薄膜的结构及表面形貌,证实了RuO2薄膜的晶体结构,晶粒尺寸为21.4nm。通过电化学测试,RuO2薄膜的容量可达0.818F/cm2(549F/g),充放电性能良好。经1000次循环测试,剩余容量仍然可达到初始容量的92.1%,同时发现RuO2薄膜具有较低的阻抗,有利于薄膜电容器以大电流快速充放电。