磁控溅射WS_x/W/DLC/W多层膜的微观结构及摩擦学性能
来源期刊：稀有金属材料与工程2020年第4期
论文作者：郭明星 刘涛 杨烁妍 王贡启 杨芳儿
文章页码：1295 - 1300
关键词：WS_x;类金刚石碳膜;W;多层膜;摩擦磨损;
摘 要：采用磁控溅射技术在硅基底上交替沉积WSx、W以及DLC膜层制备WSx/W/DLC/W多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪等对多层膜的微观结构和力学性能进行了表征,使用球盘式摩擦磨损试验机测试了多层膜在大气中的摩擦学性能。结果表明:多层膜表面均光滑致密。随着周期中W单层厚度的增加,多层膜中出现α-W、W2C和β-WC1-x结晶相,多层膜的硬度大幅提高（6 nm时具有极大值17.3 GPa）,摩擦因数呈下降趋势,结合力逐渐降低,磨损率先降低后升高。W单层厚度为6 nm的多层膜的耐磨性能最佳,磨损率约为1.4×10-14m3·N-1·m-1。
郑晓华，刘涛，杨烁妍，王贡启，杨芳儿
浙江工业大学
摘 要：采用磁控溅射技术在硅基底上交替沉积WSx、W以及DLC膜层制备WSx/W/DLC/W多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪等对多层膜的微观结构和力学性能进行了表征,使用球盘式摩擦磨损试验机测试了多层膜在大气中的摩擦学性能。结果表明:多层膜表面均光滑致密。随着周期中W单层厚度的增加,多层膜中出现α-W、W2C和β-WC1-x结晶相,多层膜的硬度大幅提高（6 nm时具有极大值17.3 GPa）,摩擦因数呈下降趋势,结合力逐渐降低,磨损率先降低后升高。W单层厚度为6 nm的多层膜的耐磨性能最佳,磨损率约为1.4×10-14m3·N-1·m-1。
关键词：WS_x;类金刚石碳膜;W;多层膜;摩擦磨损;
