面向NEMS器件的碳纳米管与金属电极电接触研究

来源期刊：功能材料与器件学报2012年第5期

论文作者：谭苗苗 张子义

文章页码：417 - 420

关键词：碳纳米管;电接触;接触电阻;电子隧穿;

摘    要：改善碳纳米管与金属电极的电接触是实现纳米器件的基础。基于电子隧穿效应的基本原理以及碳纳米管与金属表面接触的模型,得到了两者的接触间隙和接触长度是影响接触电阻的两个重要因素。通过接触电阻测量实验,比较了金电极包覆碳纳米管、钛电极包覆碳纳米管和碳纳米管沉积在金电极上这三种不同接触类型的接触状态,金电极包覆碳纳米管的接触方式具有较小的接触电阻平均值和分散性,接触状态比钛电极包覆碳纳米管和碳纳米管沉积在金电极上两种方式好,其接触电阻平均约为0.062MΩ。