纳米金刚石颗粒随CH4浓度生长的研究
来源期刊：材料导报2005年增刊第1期
论文作者：王必本 张兵
关键词：化学气相沉积; 纳米金刚石; 等离子体;
摘 要：利用等离子体增强热丝化学气相沉积,用CH4和H2为反应气体,在不同CH4浓度的情况下制备了纳米金刚石颗粒,并用高分辨扫描电子显微镜和显微Raman光谱仪对它们进行了表征.结果表明,纳米金刚石颗粒随CH4浓度的增大而增大.结合与CH4-H2等离子体有关的结果,对纳米金刚石颗粒随CH4浓度的生长进行了分析和讨论.
王必本1，张兵1
(1.北京工业大学应用数理学院,北京,100022)
摘要:利用等离子体增强热丝化学气相沉积,用CH4和H2为反应气体,在不同CH4浓度的情况下制备了纳米金刚石颗粒,并用高分辨扫描电子显微镜和显微Raman光谱仪对它们进行了表征.结果表明,纳米金刚石颗粒随CH4浓度的增大而增大.结合与CH4-H2等离子体有关的结果,对纳米金刚石颗粒随CH4浓度的生长进行了分析和讨论.
关键词:化学气相沉积; 纳米金刚石; 等离子体;
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