溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜光学常数的影响
来源期刊：材料研究学报2000年第5期
论文作者：李进延 侯立松 干福熹 阮昊 李晶 谢泉
关键词：溅射功率; Ge2Sb2Te5薄膜; 光学常数;
摘 要：研究了溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜的光学常数与波长关系的影响,结果表明,在波长小于500nm的情况下,随溅射功率的增加非晶态薄膜的折射率n先增加然后减小,消光系数k则逐渐减小;在波长大于500nm的情况下,随溅射功率的增加折射率n逐渐减少,消光系数k先减小后增加.对于晶态薄膜样品,在整个波长范围折射率n随溅射功率的增加先减小后增加,消光系数k则逐渐减少.薄膜样品的光学常数,在长波长范围随波长变化较大,在短波长范围变化较小.讨论了溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜的光学常数影响的机理.
李进延1，侯立松1，干福熹1，阮昊1，李晶1，谢泉1
(1.中国科学院上海光学精密机械研究所;
2.长沙交通学院)
摘要:研究了溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜的光学常数与波长关系的影响,结果表明,在波长小于500nm的情况下,随溅射功率的增加非晶态薄膜的折射率n先增加然后减小,消光系数k则逐渐减小;在波长大于500nm的情况下,随溅射功率的增加折射率n逐渐减少,消光系数k先减小后增加.对于晶态薄膜样品,在整个波长范围折射率n随溅射功率的增加先减小后增加,消光系数k则逐渐减少.薄膜样品的光学常数,在长波长范围随波长变化较大,在短波长范围变化较小.讨论了溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜的光学常数影响的机理.
关键词:溅射功率; Ge2Sb2Te5薄膜; 光学常数;
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