简介概要

薄膜温度传感器敏感功能膜

来源期刊：材料导报2005年第4期

论文作者：李义兵王小军周继承

关键词：温度传感器; 功能薄膜; 高温; 热敏电阻;

摘要：综述了目前国内外薄膜温度传感器敏感功能膜的制备方法、分类、结构、性质等,着重阐述了金属温度敏感膜的研究现状,并详细介绍了高温薄膜温度敏感器件的研究进展,最后论述了薄膜温度敏感器目前需要解决的一些问题.

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李义兵¹，王小军¹，周继承¹

(1.中南大学物理学院,长沙,410083)

摘要:综述了目前国内外薄膜温度传感器敏感功能膜的制备方法、分类、结构、性质等,着重阐述了金属温度敏感膜的研究现状,并详细介绍了高温薄膜温度敏感器件的研究进展,最后论述了薄膜温度敏感器目前需要解决的一些问题.

关键词:温度传感器; 功能薄膜; 高温; 热敏电阻;

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