氮化镓薄膜的极性
来源期刊:材料导报2001年第9期
论文作者:杨德仁 王淦 阙端麟 李东升
关键词:氮化镓; 极性;
摘 要:极性纤锌矿结构GaN外延薄膜生长时是沿着它的极性轴,主要是[0001]和[0001]方向的,而这两个极性方向对薄膜的生长、掺杂以及极性表面的化学特性有着不可忽略的影响.论述了GaN处延薄膜极性的检测和极性对薄膜生长的影响;同时回顾了与之相应的腐蚀、表面结构、晶体生长和器件的近期研究成果.
杨德仁1,王淦1,阙端麟1,李东升1
(1.浙江大学)
摘要:极性纤锌矿结构GaN外延薄膜生长时是沿着它的极性轴,主要是[0001]和[0001]方向的,而这两个极性方向对薄膜的生长、掺杂以及极性表面的化学特性有着不可忽略的影响.论述了GaN处延薄膜极性的检测和极性对薄膜生长的影响;同时回顾了与之相应的腐蚀、表面结构、晶体生长和器件的近期研究成果.
关键词:氮化镓; 极性;
【全文内容正在添加中】