Ti₂AlNb基合金表面磁控溅射Al/Al₂O₃薄膜及扩散处理对其抗高温氧化性能的影响

来源期刊：材料保护2015年第2期

论文作者：崔世宇 缪强 梁文萍 徐一 杨晶晶 张志刚

文章页码：47 - 58

关键词：磁控溅射;Al/Al2O3薄膜;扩散处理;抗高温氧化性能;氧化系数;

摘    要：为提高Ti2Al Nb合金的抗高温氧化性能,在Ti2AlNb合金表面磁控溅射Al/Al2O3薄膜,于真空退火炉内对其进行600℃,1 h扩散处理后,分别在650,750,850℃下氧化100 h。利用XRD,SEM,EDS技术对基体和扩散试样的相组成、微观形貌进行了分析;研究了Al/Al2O3薄膜扩散层的抗高温氧化性能及扩散处理对Al/Al2O3薄膜氧化动力学曲线的影响。结果表明:Al/Al2O3薄膜扩散层的氧化行为受氧离子渗入薄膜运动过程的控制,在高温条件下表层形成连续致密的Al2O3膜,使薄膜扩散层的氧化系数远低于基体,并且次表层的富铝相能有效阻止氧离子扩散通道的形成,减少基体与氧化性气体接触,从而显著提高Ti2Al Nb基合金的抗高温氧化性能。