激光刻蚀对金刚石薄膜的制备及场发射的影响
来源期刊：功能材料与器件学报2020年第6期
论文作者：高金海 崔颖琦 张洁 李成刚 张兵临
关键词：微波等离子体化学气相沉积;场致电子发射;金刚石薄膜;激光刻蚀;
摘 要：本文研究了激光刻蚀衬底对制备金刚石薄膜的影响,研究了激光刻蚀金刚石薄膜对它的影响,通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,检测了衬底及碳膜的形貌与结构,最后利用场发射二级结构研究碳膜的场发射性能。简单分析了激光刻蚀对金刚石薄膜的制备和场发射性能的影响。
高金海1,2，崔颖琦1，张洁1，李成刚1，张兵临2
1. 郑州师范学院物理与电子工程学院2. 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
摘 要：本文研究了激光刻蚀衬底对制备金刚石薄膜的影响,研究了激光刻蚀金刚石薄膜对它的影响,通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,检测了衬底及碳膜的形貌与结构,最后利用场发射二级结构研究碳膜的场发射性能。简单分析了激光刻蚀对金刚石薄膜的制备和场发射性能的影响。
关键词：微波等离子体化学气相沉积;场致电子发射;金刚石薄膜;激光刻蚀;
