薄膜厚度对透明PLT厚膜的介电及光学性质的影响
来源期刊:无机材料学报2006年第2期
论文作者:陈建平 李新碗 郑分刚
关键词:PLT厚膜; 介电性质; 光学性质; 溶胶-凝胶法;
摘 要:用溶胶-凝胶法在镀有氧化铟锡透明导电电极的玻璃基片上沉积钛酸镧铅薄膜,在相对较低温度580℃退火,得到了纯钙钛矿结构的透明PLT薄膜,薄膜厚度从580~1830nm.随着薄膜厚度的增加,PLT薄膜的晶粒变大、介电常数增大,而矫顽场减小.所有样品的透射率都在70%以上,最大达到90%左右.当薄膜厚度增加后,透射率降低,并且截止波长向长波方向移动.在633nm处,1830nm厚的PLT(掺镧8%)薄膜的折射率n和消光系数分别为2.39和0.009.
陈建平1,李新碗1,郑分刚1
(1.上海交通大学"区域光纤通信网与新型光通信系统"国家重点实验室,上海,200030;
2.苏州大学物理科学与技术学院,苏州,215006)
摘要:用溶胶-凝胶法在镀有氧化铟锡透明导电电极的玻璃基片上沉积钛酸镧铅薄膜,在相对较低温度580℃退火,得到了纯钙钛矿结构的透明PLT薄膜,薄膜厚度从580~1830nm.随着薄膜厚度的增加,PLT薄膜的晶粒变大、介电常数增大,而矫顽场减小.所有样品的透射率都在70%以上,最大达到90%左右.当薄膜厚度增加后,透射率降低,并且截止波长向长波方向移动.在633nm处,1830nm厚的PLT(掺镧8%)薄膜的折射率n和消光系数分别为2.39和0.009.
关键词:PLT厚膜; 介电性质; 光学性质; 溶胶-凝胶法;
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