铝合金直接氮化生长氮化铝反应机制研究
来源期刊：无机材料学报2000年第4期
论文作者：王文忠 王群 陈克新 周和平 金海波
关键词：铝合金; 直接氮化; 氮化铝; 生长机制; aluminium alloys; directed nitridation; AlN; growth mechanism;
摘 要：针对铝合金直接氮化生长AlN过程中的晶体生长过程进行分析，通过X-ray衍射和SEM观察，获得了不同生长阶段AlN晶体的生长特征，研究了铝合金直接氮化生长氮化铝的反应机制. 提出了一种气-液-固-固)晶体生长机制，简称VLSS机制，并着重对VLSS机制的实现条件、实现过程以及与传统的VLS晶体生长机制的相同点和差异进行了讨论.
王文忠1，王群1，陈克新2，周和平2，金海波2
(1.东北大学材料与冶金学院, 沈阳 110006;
2.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室, 北京 100084)
摘要:针对铝合金直接氮化生长AlN过程中的晶体生长过程进行分析，通过X-ray衍射和SEM观察，获得了不同生长阶段AlN晶体的生长特征，研究了铝合金直接氮化生长氮化铝的反应机制. 提出了一种气-液-固-固)晶体生长机制，简称VLSS机制，并着重对VLSS机制的实现条件、实现过程以及与传统的VLS晶体生长机制的相同点和差异进行了讨论.
关键词:铝合金; 直接氮化; 氮化铝; 生长机制; aluminium alloys; directed nitridation; AlN; growth mechanism;
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