ITO透明导电薄膜厚度与光电性能的关系

来源期刊：材料科学与工程学报2012年第1期

论文作者：吴云龙 成惠峰 余刚 王永斌 韩磊 付静

文章页码：14 - 16

关键词：ITO;可见光透过率;面电阻;透明导电氧化物;

摘    要：透明导电薄膜的厚度制约其光电性质。本研究利用磁控溅射技术制备了厚度变化范围为200-1500nm的ITO薄膜,探索了薄膜颜色、可见光透过率、面电阻与膜厚的关系。薄膜颜色随着膜厚的增加呈现有规律的变化,可见光透过率随薄膜厚度的增加而呈现振荡下降趋势,并出现了极大值（紫红色）,振荡趋势可用多光束干涉解释;薄膜面电阻随膜厚的增加呈减小趋势,薄膜厚度为1387nm时,面电阻为1.3Ω/□,薄膜最小电阻率为1.8×10-4Ω.cm。文章给出了可以通过选择恰当的薄膜厚度,以尽可能满足透明导电薄膜面电阻、透过率两个相互矛盾的指标。