用分子束外延制备红外锑化物激光器和探测器材料
来源期刊:材料研究学报2001年第1期
论文作者:李爱珍 林春 郑燕兰
关键词:中红外; 锑化物; 分子束外延;
摘 要:用固态源分子束外延方法,在GaSb衬底上成功地生长出四元系III-V族锑化物单层、多量子阱和激光器、探测器结构材料,并用这些材料制备了2μm波段室温准连续脊波导AlGaAsSb/InGaAsSb多量子阱.
李爱珍1,林春1,郑燕兰1
(1.中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室)
摘要:用固态源分子束外延方法,在GaSb衬底上成功地生长出四元系III-V族锑化物单层、多量子阱和激光器、探测器结构材料,并用这些材料制备了2μm波段室温准连续脊波导AlGaAsSb/InGaAsSb多量子阱.
关键词:中红外; 锑化物; 分子束外延;
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