射频磁控溅射法制备含银类钻碳薄膜的结构与性能

王翠凤¹，邱锡荣²，张雅珍²，欧耿良³

1. 福建信息职业技术学院机电工程系2. 高雄应用科技大学模具工程系3. 台北医学大学口腔医学院

摘 要：为了明确银原子含量对含银的类钻碳类（diamond like carbon,DLC）薄膜抗菌率和薄膜性能的影响,改变溅射功率,采用射频磁控溅射法在玻璃基底上制备一系列不同Ag含量（原子分数,下同）的Ag-DLC薄膜。通过扫描电镜、拉曼光谱分析仪、透射电镜、X射线衍射仪、原子力显微镜等手段,研究Ag-DLC薄膜的C键结形态以及等对薄膜的特性与抗菌率等。结果表明,随溅射功率增加,薄膜厚度、薄膜中Ag含量以及D峰与G峰的积分强度比值ID/IG都增加。并且薄膜表面逐渐变得粗糙,薄膜的硬度和电阻率均下降。生物特性上,随溅射功率增加,薄膜对大肠杆菌（E.coli）表现出更加优良的抗菌性能。当溅射功率为200 W时,薄膜中Ag的原子分数为19.77%,足以保证薄膜具有优良的抗菌性能,抗菌率达到98%。

关键词：Ag-DLC;溅射;抗菌能力;