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取向成像电子显微术试样的制备

来源期刊：理化检验物理分册2004年第12期

论文作者：李华清谢水生李旭东阎允杰

关键词：取向成像电子显微术; 试样制备; 腐蚀抛光; 电解抛光; 离子减薄;

摘要：鉴于电子背散射(EBSD)试样的制备质量对其成像质量有着很大影响,介绍了几种有效的试样制备方法,并对比了几种抛光方法及其成像效果.

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李华清¹，谢水生¹，李旭东²，阎允杰³

(1.北京有色金属研究总院,加工工程研究中心,北京,100088;
2.兰州理工大学材料科学与工程学院,兰州,730050;
3.清华大学材料科学与工程研究院,北京,100084)

摘要:鉴于电子背散射(EBSD)试样的制备质量对其成像质量有着很大影响,介绍了几种有效的试样制备方法,并对比了几种抛光方法及其成像效果.

关键词:取向成像电子显微术; 试样制备; 腐蚀抛光; 电解抛光; 离子减薄;

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