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氧化锌薄膜场效应晶体管的制备及工艺研究

来源期刊：材料导报2009年第5期

论文作者：晏伯武王秀章郭建林

关键词：氧化锌; 薄膜; p型掺杂; 制备;

摘要：场效应晶体管是现代微电子技术的重要组成部分.为制备氧化锌薄膜晶体管,分析了氧化锌的p型、n型掺杂特性,对p型掺杂进行了实验分析和理论探讨,比较了各种制备氧化锌薄膜晶体管的工艺特点,展示了ZnO在未来电子和光电子领域的潜在应用.

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晏伯武¹，王秀章²，郭建林³

(1.黄石理工学院计算机学院,黄石,435000;
2.湖北师范学院物理与电子科学学院,黄石,435002;
3.黄石理工学院环境工程学院,黄石,435000)

摘要:场效应晶体管是现代微电子技术的重要组成部分.为制备氧化锌薄膜晶体管,分析了氧化锌的p型、n型掺杂特性,对p型掺杂进行了实验分析和理论探讨,比较了各种制备氧化锌薄膜晶体管的工艺特点,展示了ZnO在未来电子和光电子领域的潜在应用.

关键词:氧化锌; 薄膜; p型掺杂; 制备;

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