PLD系统中硅板加热器温度的影响因素
来源期刊：材料科学与工程学报2003年第5期
论文作者：朱绍将 张鹏翔 张虞澜 陈大鹏 彭巨擘 王茺
关键词：PLD; 硅板加热器; 衬底; 真空度;
摘 要：研究了PLD系统中用硅板做衬底加热器时影响衬底温度的几个因素.通过使用校准了的红外测温仪做温度检测元件,发现:1.硅板上各部分的温度不是均匀分布的;2.衬底放在硅板上时,衬底温度和硅板温度有很大的不同;3.在相同的硅板加热电流下,硅板温度随硅板环境的真空度不同而变化.不细致考虑上述因素时,脉冲激光沉积(PLD)镀膜的质量很难保证.
朱绍将1，张鹏翔1，张虞澜1，陈大鹏1，彭巨擘1，王茺1
(1.昆明理工大学光电子新材料研究所,云南,昆明,650093)
摘要:研究了PLD系统中用硅板做衬底加热器时影响衬底温度的几个因素.通过使用校准了的红外测温仪做温度检测元件,发现:1.硅板上各部分的温度不是均匀分布的;2.衬底放在硅板上时,衬底温度和硅板温度有很大的不同;3.在相同的硅板加热电流下,硅板温度随硅板环境的真空度不同而变化.不细致考虑上述因素时,脉冲激光沉积(PLD)镀膜的质量很难保证.
关键词:PLD; 硅板加热器; 衬底; 真空度;
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