微泵动态模型和虚拟运行
来源期刊：功能材料与器件学报2006年第4期
论文作者：王凯 谭宜勇 赵新 卢桂章
关键词：MEMS; 微泵; 动态模型; 有限元计算; 曲线拟合; 参数辨识; 虚拟运行;
摘 要：虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示,虚拟运行的基础是器件动态模型.首先分析了微泵的静态模型.以有限元分析数据为起点,获得了膜片静态模型.随后给出了阀片的静态模型,得到变形解析表达式且只包含压力变化量.然后以静态模型为基础,从分析微泵运行机制入手,从并不充分的实验数据中得到微泵的动态运行规律.最后基于上述动态模型实现了微泵的虚拟运行,对照实测实验结果,它具有较高的精度.在虚拟环境中可以在线看到虚拟运行状态的相应变化,最终达到了在设计参数和器件运行之间建立直接联系的目标.
王凯1，谭宜勇1，赵新1，卢桂章1
(1.南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071)
摘要:虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示,虚拟运行的基础是器件动态模型.首先分析了微泵的静态模型.以有限元分析数据为起点,获得了膜片静态模型.随后给出了阀片的静态模型,得到变形解析表达式且只包含压力变化量.然后以静态模型为基础,从分析微泵运行机制入手,从并不充分的实验数据中得到微泵的动态运行规律.最后基于上述动态模型实现了微泵的虚拟运行,对照实测实验结果,它具有较高的精度.在虚拟环境中可以在线看到虚拟运行状态的相应变化,最终达到了在设计参数和器件运行之间建立直接联系的目标.
关键词:MEMS; 微泵; 动态模型; 有限元计算; 曲线拟合; 参数辨识; 虚拟运行;
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