取向硅钢表面氧化层的结构及其对渗氮的影响

严国春¹，何承绪¹，孟利¹，马光²，吴细毛³

1. 北京科技大学材料科学与工程学院2. 国家智能电网研究院电工新材料及微电子研究所3. 辽宁省电力有限公司电力科学研究院

摘 要：采用场发射电子扫描显微镜（FESEM）和能谱仪（EDS）研究取向硅钢经过不同脱碳和保温时间后氧化层的演变规律及氧化层对后续渗氮的影响。结果表明:随脱碳时间的延长,氧化层逐渐变厚,期间伴随着片状SiO₂向球状SiO₂的转变,而且脱碳后增厚的氧化层更有利于渗氮的进行。氧化层的三层结构有利于渗氮的进行,其中层片状SiO₂对渗氮起主要贡献,而球状SiO₂层较厚时对渗氮有一定的抑制作用,且当氧化层全为球状SiO₂时,渗入氮含量明显减少。氧化层的结构对渗氮后在铁基体中形成的氮化物形态也有影响。

关键词：取向硅钢;脱碳;氧化层;无定形SiO2;渗氮;