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电子束物理气相沉积工艺制备超薄高温结构材料的研究

来源期刊：材料导报2006年第11期

论文作者：赫晓东马李李垚孙跃

关键词：会属热防护系统; 高温结构材料; 电子束物理气相沉积; 微叠层材料;

摘要：介绍了包括热障涂层、高温合金薄板、金属/陶瓷及金属/金属间化合物微叠层薄板等金属热防护系统结构材料的特点,并简要介绍了电子束物理气相沉积设备的工作原理、结构及其工艺特点.着重评述了利用该工艺制备多种体系高温结构材料的研究现状,最后对未来的发展趋势作出了客观的评价与展望.

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赫晓东¹，马李¹，李垚¹，孙跃¹

(1.哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所,哈尔滨,150001)

摘要:介绍了包括热障涂层、高温合金薄板、金属/陶瓷及金属/金属间化合物微叠层薄板等金属热防护系统结构材料的特点,并简要介绍了电子束物理气相沉积设备的工作原理、结构及其工艺特点.着重评述了利用该工艺制备多种体系高温结构材料的研究现状,最后对未来的发展趋势作出了客观的评价与展望.

关键词:会属热防护系统; 高温结构材料; 电子束物理气相沉积; 微叠层材料;

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